氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么?
(1) 流量的測量和操縱不因溫度或負載的變化而產(chǎn)生誤差。 針對大部分流量控制系統來(lái)講,難以防止系統的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質(zhì)的溫度轉變。針對一般的流量計,工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差;針對質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略。
(2) 測量操縱的自動(dòng)化技術(shù) 質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以規范電子信號輸出。那樣非常容易實(shí)現對流量的數據顯示﹑積累流量﹑數據信息自動(dòng)保存﹑電腦管理等。對質(zhì)量流量控制器來(lái)講,還能夠完成流量的自動(dòng)控制系統。通常, 模擬的MFC/MFM數據信號為0~ 5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數據串行通信通信口, 能十分便捷地與電腦聯(lián)接, 開(kāi)展自動(dòng)控制系統。
(3) 定量操縱流量 質(zhì)量流量控制器可以控制汽體的給定量,這對許多加工工藝全過(guò)程的流量操縱﹑針對不一樣汽體的控制算法等尤其有效。
(4) 應用領(lǐng)域寬 有很寬的壓力范疇,可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體(包含一些腐蝕汽體,如HCL)
壓力對于氣體質(zhì)量流量控制器影響有哪些?
市面上的熱式氣體質(zhì)量流量控制器的耐壓主要分為:10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要為差壓式(也稱(chēng)節流式) 流量計是基于流體流動(dòng)的節流原理,利用流體流經(jīng)節流裝置時(shí)產(chǎn)生的壓力差而實(shí)現流量測量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要為熱式流量計,熱式流量計采用熱擴散原理,熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。熱式流量計有兩個(gè)溫度傳感器被置于介質(zhì)中時(shí),其中一個(gè)傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的溫度,另一個(gè)溫度傳感器用于感應介質(zhì)溫度。
氣體質(zhì)量流量控制器的零點(diǎn)漂移?
微小的零點(diǎn)漂移是不會(huì )影響傳感器的測量精度和數值的,但是如果是零點(diǎn)漂移較大或用戶(hù)在使用時(shí),對零點(diǎn)漂移的數值有疑問(wèn),那么這時(shí)候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計會(huì )有零點(diǎn)漂移情況,零點(diǎn)漂移也就是管道中已經(jīng)沒(méi)有介質(zhì)流動(dòng)但質(zhì)量流量計仍顯示流量值。如果是零點(diǎn)出現大幅漂移,而且每次漂移差別很大,就需要檢查管道內使用有大量的壓力或氣體殘留,需要打開(kāi)各種閥門(mén),全部排空氣體管路,防止設備或管路憋壓。
一般造成質(zhì)量流量計零點(diǎn)漂移的因素有許多,解決質(zhì)量流量計零漂問(wèn)題,首先要定期進(jìn)行零點(diǎn)檢查和調整,二是需要和工藝配合來(lái)解決。一般情況下,管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動(dòng)也會(huì )導致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計的零點(diǎn)漂移,出現這種漂移時(shí),要關(guān)閉流量控制器或流量計前段的電磁閥(流量控制器不能當做截止閥來(lái)使用),使管道內處于完全零流狀態(tài)或在管道適當位置設置排氣口,消除管道內的壓力和氣流,從而達到消除零點(diǎn)漂移。